Piezorezisztív nyomásérzékelő
Az ellenállás nyúlásmérő a piezorezisztív nyúlásérzékelő egyik fő alkotóeleme. A fémellenállási nyúlásmérő működési elve azon a jelenségen alapul, hogy az aljzaton adszorbeált nyúlásmérő ellenállása mechanikai deformációval, közismertebb nevén ellenállási alakváltozással megváltozik.
Kerámia nyomásérzékelő
A kerámia nyomásérzékelő a piezorezisztív hatáson alapul. A nyomás közvetlenül a kerámia membrán elülső felületére hat, enyhe deformációt okozva. A kerámia membrán hátuljára vastag -filmellenállás van nyomtatva, amely Wheatstone-hidat alkot. A piezorezisztív ellenállás piezorezisztív hatása miatt a híd erősen lineáris feszültségjelet hoz létre, amely arányos a nyomással és a gerjesztő feszültséggel is. A szabványos jelek a nyomástartománytól függően 2,0/3,0/3,3 mV/V stb. értékre vannak kalibrálva, és kompatibilisek a nyúlásmérő érzékelőkkel.
Diffúz szilícium nyomásérzékelő
A diffúz szilícium nyomásérzékelő működési elve szintén a piezorezisztív hatáson alapul. Ezt az elvet alkalmazva a mért közeg nyomása közvetlenül az érzékelő membránjára (rozsdamentes acél vagy kerámia) hat, és a membrán a közegnyomással arányos mikro-elmozdulását okozza. Ez az érzékelő ellenállásának megváltozását eredményezi. Az elektronikus áramkör érzékeli ezt a változást, és a nyomásnak megfelelő szabványos mérési jelet ad ki.
Zafír nyomásérzékelő
A nyúlásmérő elvét kihasználva ez az érzékelő szilícium{0}}zafírt használ félvezető érzékelőelemként, amely páratlan metrológiai jellemzőkkel rendelkezik. Ezért a szilícium-zafírból készült félvezető érzékelőelemek érzéketlenek a hőmérséklet-változásokra, és még magas hőmérsékleten is kiváló működési jellemzőket mutatnak; a zafír erős sugárzásállósággal rendelkezik; továbbá a szilícium-zafír félvezető érzékelőelemeknek nincs p-n sodródása.
Piezoelektromos nyomásérzékelő
A piezoelektromos effektus a piezoelektromos érzékelők fő működési elve. A piezoelektromos érzékelők nem használhatók statikus mérésekhez, mert a külső erő kifejtése utáni töltés csak akkor marad meg, ha az áramkörnek végtelen bemeneti impedanciája van. Mivel a valóságban ez nem így van, a piezoelektromos érzékelők csak a dinamikus feszültséget képesek mérni.